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行业方案 / 光电与半导体车间

光电与半导体车间
光电与半导体对防静电、温湿波动、颗粒物控制要求严苛——等级与自控精度双高。
光电与半导体车间洁净工程实拍

方案要点

  • 等级配置:千级/万级,关键工序按工艺核定
  • 防静电:湿度下限控制+防静电材料,ESD 全流程管控
  • 温湿精控:±1℃/±5%RH,波动曲线记录追溯
  • 振动与洁净:设备选型考虑振动指标,FFU 灵活布局
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