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/ 光电与半导体车间
光电与半导体车间
光电与半导体对防静电、温湿波动、颗粒物控制要求严苛——等级与自控精度双高。
方案要点
等级配置:
千级/万级,关键工序按工艺核定
防静电:
湿度下限控制+防静电材料,ESD 全流程管控
温湿精控:
±1℃/±5%RH,波动曲线记录追溯
振动与洁净:
设备选型考虑振动指标,FFU 灵活布局
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